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在线激光粒度仪系列
产品当前状态:初代
AccuSizer® Mini在线颗粒监测仪采用模块化设计, 可根据客户特定需求匹配各类功能模块,进行在线颗粒监测,其中LE400、FX和FX Nano的传感器 选项提供了更大的检测范围和浓度限制。根据不同类型的样品采用不同传感器与进样模块配对,可自由切换不稀释、一步稀释或二步稀释模式。这种设计可允许我们在应用实验室中检测多种类型样品,并可在生产过程实时监测出真实的结果。
除了模块化设计, AccuSizer® Mini的样品混合仓和传感器清洗均为自动化,确保数据的准确性和持续一致性。AccuSizer® Mini 采用集成电脑触屏显示器的设计,可减少回到实验室里监控数据的频率,并且还可以在工艺生产线中实时监测以及进行连续的数据采集。与市场上的任何其他仪器不同, AccuSizer® Mini 可在几分钟内真实统计到数十万个粒子,而一般设备可能需要花费数小时。
奥法美嘉公司为半导体芯片制造商提供了集成的多点过程控制系统,用以监控其研磨液分配。 通过实时监测趋势变化,可在出现重大问题前停 止生产或用于预防下道工序缺陷的产生。 AccuSizer® Mini 是为工艺生产线的特殊要求而 计。完全嵌入式的PLC设备可以通过企业自身 的LIMS系统进行控制和监控,从而使系统更加 效率并且易于使用。 通过单颗粒光学传感技术而实现高精度检测, AccuSizer®Mini可以看到远离主峰几个ppb水 平标准差的LPC分布。可以快速统计到几十万个 粒子。
AccuSizer Mini FX 系统
·FX 传感器:0.7 - 20 µm,浓度上限106 颗/mL
·应用:二氧化铈 CMP 浆料
AccuSizer Mini LE 系统
·LE 传感器:0.5 - 400 µm,浓度上限 10,000 颗/mL
·应用:CMP 浆料(如二氧化硅),复杂制剂,色浆等
AccuSizer Mini FX-Nano 系统
·FXnano传感器:0.15 - 10 µm,浓度可达 106 个粒子/mL
·应用:洁净的 CMP 浆料,纳米制剂,色浆等
工作原理
AccuSizer A2000采用单颗粒光学传感技术,单个粒子通过狭窄的光感区时阻挡了一部分入射光,引起到达检测器的入射光强度瞬间降低,强度信号的衰减幅度理论上与粒子横截面(假设横截面积小于光感区的宽度),即粒子直径的平方成比例。用标准粒子建立粒径与强度信号大小的校正曲线。仪器测得样品中颗粒通过光感区产生的信号,根据校正曲线计算出颗粒粒径。传统光阻法的范围下限一般到1.5μm。AccuSizer通过光散射增加对小粒子的灵敏度,将单颗粒传感器的计数下限拓展至0.5μm。
大功率激光二极管 | PSS使用一系列大功率激光二极管来满足更多更苛刻的要求。使用大功率激光照射,以便从小粒子出货的足够的入射光。15mW, 35mW, 50mW, 100mW — 波长为635nm 的红色二极管。20 mW 50 mW 和 100 mW 波长为 514.4nm的绿色二极管。 |
雪崩光电二极管检测器(APD Detector) | 提供比普通光电倍增管(PMT)高20倍的灵敏度。 |
自动稀释系统模块 | 将初始浓度较高的样本自动稀释至可检测的的浓度,可稀释初始固含量为50%的原始样品 |
超纯溶剂 | 溶剂是一种可以溶化固体,液体或气体溶质的液体(气体、或固体)(溶剂、溶质都可以为固体、液体、气体),继而成为溶液。在日常生活中最普遍的溶剂是水。而所谓有机溶剂即是包含碳原子的有机化合物。溶剂通常拥有比较低的沸点和容易挥发。或是可以由蒸馏来去除,从而留下被溶物。因此,溶剂不可以对溶质产生化学反应。它们必须为惰性。溶剂可从混合物萃取可溶化合物,最普遍的例子是以热水冲泡咖啡或茶。溶剂通常是透明,无色的液体,他们大多都有独特的气味。 |
超纯水 | 超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程 |
湿化学品 | 湿化学品是指各种元素组成的纯净物和混合物,无论是天然的还是人造的 |
尊敬的用户您好,在对仪器还不了解的情况下,为了让您可以选择一款适合贵单位的设备,可以先寄送样品到我们公司,由我们的技术人员帮您测试样品,并将测试结果和数据报告发送到您邮箱或者将纸质版寄送到贵单位。
下方链接是测试申请表,请下载填写完整后随样品一起寄送过来。
邮寄地址:中国上海闵行区漕河泾浦江高科技园 F
区 新骏环路588号23幢402室
邮编:201204
联系人:余经理(请备注样品)
电话:400-821-3090
Nicomp 380 系列彩页 | ||
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AccuSizer 780 系列彩页 | ||
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