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AccuSizer® Mini 在线颗粒监测仪/颗粒计数器

  • 产品当前状态：初代

    AccuSizer® Mini在线颗粒监测仪采用模块化设计， 可根据客户特定需求匹配各类功能模块，进行在线颗粒监测，其中LE400、FX和FX Nano的传感器 选项提供了更大的检测范围和浓度限制。根据不同类型的样品采用不同传感器与进样模块配对，可自由切换不稀释、一步稀释或二步稀释模式。这种设计可允许我们在应用实验室中检测多种类型样品，并可在生产过程实时监测出真实的结果。 


    除了模块化设计， AccuSizer® Mini的样品混合仓和传感器清洗均为自动化，确保数据的准确性和持续一致性。AccuSizer® Mini 采用集成电脑触屏显示器的设计，可减少回到实验室里监控数据的频率，并且还可以在工艺生产线中实时监测以及进行连续的数据采集。与市场上的任何其他仪器不同， AccuSizer® Mini 可在几分钟内真实统计到数十万个粒子，而一般设备可能需要花费数小时。 


    奥法美嘉公司为半导体芯片制造商提供了集成的多点过程控制系统，用以监控其研磨液分配。 通过实时监测趋势变化，可在出现重大问题前停 止生产或用于预防下道工序缺陷的产生。 AccuSizer® Mini 是为工艺生产线的特殊要求而 计。完全嵌入式的PLC设备可以通过企业自身 的LIMS系统进行控制和监控，从而使系统更加 效率并且易于使用。 通过单颗粒光学传感技术而实现高精度检测， AccuSizer®Mini可以看到远离主峰几个ppb水 平标准差的LPC分布。可以快速统计到几十万个 粒子。

  • 工作原理


    AccuSizer A2000采用单颗粒光学传感技术，单个粒子通过狭窄的光感区时阻挡了一部分入射光，引起到达检测器的入射光强度瞬间降低，强度信号的衰减幅度理论上与粒子横截面(假设横截面积小于光感区的宽度),即粒子直径的平方成比例。用标准粒子建立粒径与强度信号大小的校正曲线。仪器测得样品中颗粒通过光感区产生的信号，根据校正曲线计算出颗粒粒径。传统光阻法的范围下限一般到1.5μm。AccuSizer通过光散射增加对小粒子的灵敏度，将单颗粒传感器的计数下限拓展至0.5μm。


  • AccuSizer Mini FX 系统 

    ·FX 传感器：0.7 - 20 µm，浓度上限106 颗/mL  

    ·应用：二氧化铈 CMP 浆料 


    AccuSizer Mini LE 系统  

    ·LE 传感器：0.5 - 400 µm，浓度上限 10,000 颗/mL  

    ·应用：CMP 浆料（如二氧化硅），复杂制剂，色浆等 


    AccuSizer Mini FX-Nano 系统 

     ·FXnano传感器：0.15 - 10 µm，浓度可达 106 个粒子/mL  

    ·应用：洁净的 CMP 浆料，纳米制剂，色浆等

  • 超纯溶剂

    溶剂是一种可以溶化固体，液体或气体溶质的液体（气体、或固体）（溶剂、溶质都可以为固体、液体、气体），继而成为溶液。在日常生活中最普遍的溶剂是水。而所谓有机溶剂即是包含碳原子的有机化合物。溶剂通常拥有比较低的沸点和容易挥发。或是可以由蒸馏来去除，从而留下被溶物。因此，溶剂不可以对溶质产生化学反应。它们必须为惰性。溶剂可从混合物萃取可溶化合物，最普遍的例子是以热水冲泡咖啡或茶。溶剂通常是透明，无色的液体，他们大多都有独特的气味。

    超纯水
    		超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程
    湿化学品
    		湿化学品是指各种元素组成的纯净物和混合物，无论是天然的还是人造的


  • 尊敬的用户您好，在对仪器还不了解的情况下，为了让您可以选择一款适合贵单位的设备，可以先寄送样品到我们公司，由我们的技术人员帮您测试样品，并将测试结果和数据报告发送到您邮箱或者将纸质版寄送到贵单位。

     

    下方链接是测试申请表，请下载填写完整后随样品一起寄送过来。

    下载链接在这里邮寄地址：中国上海闵行区漕河泾浦江高科技园 F区 新骏环路588号23幢402室

    邮编：201204
    联系人：吴先生（请备注样品）
    电话：021-5091 1766

     



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